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第五届电子行业超纯水制备与污水再生利用技术研讨会圆满举办

vic67维多利亚33082023年11月7日电（通讯员 巫寅虎）11月5日，由中国环境科学学会水处理与回用专业委员会（以下简称“专业委员会”）和vic67维多利亚3308联合主办的第五届电子行业超纯水制备与污水再生利用技术研讨会在北京成功举办。

会议合影

会议现场

专业委员会主任、vic67维多利亚3308教授胡洪营主持开幕式并致辞。来自芯片和面板制造厂商、电子级超纯水制备厂商、电子行业设计研究院、国家工业和信息化部电子第五研究所和vic67维多利亚3308的专家学者60余人参加了会议。

胡洪营致辞

电子级超纯水是半导体制造的基础性生产物料，在产品清洗和蚀刻中发挥重要作用，用量极大。随着我国先进制造产业自主化发展，半导体的产能和制程将持续提升，中国大陆半导体制造业对超纯水的年需求量已达数亿立方米。半导体芯片和显示面板制造业还会产生大量组分复杂、浓度高、处理难的污水。随着我国水生态环境保护要求不断提高，对高效低耗的污水处理与循环利用技术与工艺的需求持续增加。电子级超纯水制备与污水再生利用，是支撑半导体制造业产能提升、芯片制程突破和行业高质量可持续发展的重要保障。

为促进电子行业超纯水制备和污水再生利用领域的产学研交流，自2020年以来，专业委员会分别在西安、苏州、桂林和上海以全国水处理与循环利用学术会议分会场的形式举办了4届技术研讨会，围绕电子行业超纯水制备和污水再生利用进行了深度交流研讨。

在前4届技术研讨会成功举办的基础上，本次研讨会设置了电子级纯水制备技术与工艺和电子行业污水再生利用技术与工艺2个研讨主题，共邀请了12位知名专家学者作主题报告。报告内容涉及本领域的前沿科学问题、关键技术、工程实践和政策管理等多个方面，实现了从电子级纯水制备—终端用户使用—污水再生处理与循环利用的全链条覆盖。

主要报告内容

国家工业和信息化部电子第五研究所杨本晓主任作了“国家工业废水循环利用政策解读”报告，介绍了工业废水循环利用相关国家要求、标准体系和典型节水企业案例等。

作为电子级超纯水的终端用户，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司主任工程师王宸作了“半导体超纯水系统设备材料国产化验证平台的介绍”专题报告。验证平台涉及前处理、制程、抛光等电子级超纯水制备全流程，涵盖设备、耗材、仪表、加药等全材料，验证功能齐全，验证方式灵活，覆盖终端用户对电子级超纯水的使用要求，为推动半导体超纯水系统设备材料国产化替代提供坚实平台。

作为本领域知名设计院代表，中国电子技术标准化研究院电子工程标准定额站总工程师杜宝强、北京市市政工程设计研究总院有限公司副总工程师杨京生、世源科技工程有限公司事业部总经理王鹏、中国市政工程中南设计研究总院有限公司总工程师助理刘可分别作了“‘十四五’电子行业水系统标准体系建设”“‘亦庄模式’-电子行业污水再生利用技术的实践与思考”“电子行业纯废水技术、产品研发的建议”“高排放标准半导体废水深度处理工艺探索”的专题报告。

作为行业知名系统服务商代表，江苏中电创新环境科技有限公司副总经理熊江磊作了“电子行业低碳水系统行动与思考”的专题报告。

作为行业知名设备/工艺厂商代表，沃顿科技股份有限公司技术服务总监王思亮、西安蓝晓科技新材料股份有限公司应用技术部经理/高级工程师张力、Fluidsmile乐富意得（上海）流体技术有限公司总经理王涛分别作了“沃顿超纯水用反渗透膜的应用进展”、“电子级超纯水用均粒树脂应用性能及国产化进程”、“中压紫外技术在超纯水工艺应用中的技术优势”的专题报告，介绍了反渗透膜材料和膜组件、树脂、紫外等超纯水制备关键材料、核心设备的市场现状、应用效果和代表案例。

来自vic67维多利亚3308深圳国际研究生院的王文龙副教授和vic67维多利亚3308的王琦博士分别作了“电子超纯水制备有机碳高标准处理挑战与技术需求”“超纯水中尿素的氯/紫外线协同去除技术”的专题报告，介绍了反渗透产水中微量有机物的检测与高效去除技术研发进展。

上述报告系统阐述了电子行业超纯水制备与污水再生利用领域的科学问题、关键技术、核心设备、标准体系等方面的现状与未来发展趋势，引起了参会代表的广泛关注。与会代表踊跃提问、积极发言，围绕该领域的前沿和热点问题进行了深入热烈的探讨。